CYG505型微型水工压力传感器

动态定制压力传感器

产品简介

标称尺寸外径5mm的微型表压力传感器CYG505及其衍生的螺纹安装型品种CYG506是专为水流动力学研究。缩模实验要求的外形尺寸小,对流场扰动小,量程低、灵敏度高,动态频响好而专门设计的微型低量程脉动压力传感器。

    双桥CYG505.pdf


    产品综述

    标称尺寸外径5mm的微型表压力传感器CYG505及其衍生的螺纹安装型品种CYG506是专为水流动力学研究。缩模实验要求的外形尺寸小,对流场扰动小,量程低、灵敏度高,动态频响好而专门设计的微型低量程脉动压力传感器。 
    CYG505
    的压力敏感元件采用先进的MEMS(Miro Electronic Machinical Systems)技术设计与制造、三维集成、双面加工的硅压阻压力敏感元件具有优秀的线性精度、离子注入、精细光刻技术制作的惠斯顿应变电桥的高度一致性使其具有很小的温度漂移。用CAD辅助的有限元分析基础上的最佳力学构件设计、版图布局设计、加上精密的各向异性腐蚀,解决了低量程下线性度和输出灵敏度的矛盾。小至2mm径向尺度的微型芯片,具有低达20kpa的量程和优秀的线性度,满足了水工缩模测量的精度与灵敏度要求。

     

    产品介绍

    精度等级

    JA:典型值±0.25%FS;最大值±0.5%FS

    JB: 典型值±0.15%FS;最大值±0.25%FS

    零位输出

    0±5mV(绝压部分量程0±10mV)

    满量程输出

    最小值40mV、 典型值80mV、   最大值120mV

    输入输出阻抗

    最小值3Ω、典型值3.5Ω、最大值4Ω

    输入工作电流

    1.5mA(恒流电)

    补偿温度范围

    10℃~60℃(可按用户要求特订)

    工作温度范围

    -40℃~+120℃/-20℃~+70℃(带PVC套管)

    存储温度范围

    -40℃~+125℃/-30℃~+75℃(带PVC套管)

    测量介质

    与材料兼容无腐蚀、洁净的液体及气体

    过载能力

    额定量程的200%(表压型最大至1.2MPa)

    加速度灵敏度

    <0.002%FS/g

    军品定制

    本型号产品承接军品定制